M. Sc. Annemarie Finzel

Ionenstrahlgestützte Molekularstrahlepitaxie von Galliumnitrid-Schichten auf Silizium

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Kurzfassung in Deutsch

Die vorliegende Arbeit befasst sich mit dem Einfluss einer hyperthermischen Stickstoffionenbestrahlung (Ekin < 25 eV) auf das Galliumnitrid-Schichtwachstum. Dabei wird insbesondere der Einfluss einer Oberflächenrekonstruktion, einer Strukturierung der Oberfläche, einer Zwischenschicht (Pufferschicht) und der Einfluss verschiedener Siliziumsubstratorientierungen auf das epitaktische Wachstum von dünnen Galliumnitrid-Schichten nach einer hyperthermischen Stickstoffionenbestrahlung diskutiert. Ziel war es, möglichst dünne, epitaktische und defektarme Galliumnitrid-Schichten zu erhalten.
Für die Charakterisierung der Galliumnitrid-Schichten und der Siliziumsubstrate standen diverse Analysemethoden zur Verfügung. Die kristalline Oberflächenstruktur konnte während des Wachstums mittels Reflexionsbeugung hochenergetischer Elektronen beobachtet werden. Nachfolgend wurde die Oberflächentopografie, die kristalline Struktur und Textur, sowie die optischen Eigenschaften der Galliumnitrid-Schichten mittels Rasterkraftmikroskopie, Röntgenstrahl-Diffraktometrie, hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie und Photolumineszenzspektroskopie untersucht.

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Schlagwörter
(Deutsch)
Galliumnitrid, Epitaxie, Ionen, Molekularstrahlepitaxie
Schlagwörter
(Englisch)
Galliumnitride, Epitaxial growth, Ions, Molecular beam epitaxy
DDC Klassifikation550
Institution(en) 
HochschuleUniversität Leipzig
FakultätFakultät für Physik und Geowissenschaften
ProfessurLeibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.
BetreuerProf. Dr. Dr. h.c. Bernd Rauschenbach
GutachterProf. Dr. Dr. h.c. Bernd Rauschenbach
Prod. Dr. Armin Dadgar
Prof. Dr. Andreas Waag
DokumententypDissertation
SpracheDeutsch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)23.09.2015
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung30.05.2016
Veröffentlichungsdatum (online)06.07.2016
persistente URNurn:nbn:de:bsz:15-qucosa-206394

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