Ralf Petrich

Contributions to Spectrophotometric Characterisation of Thin Films Showing Considerable Optical Losses

Dokumente und Dateien

Hinweis

Bitte nutzen Sie beim Zitieren immer folgende Url:

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-199800128

Kurzfassung in Deutsch

Verschiedene Typen von Dnnschichtsystemen, die aufgrund der starken Wirkung optischer Verlustmechanismen wie Absorption
oder diffuser Streuung nur schwer der optischen Analyse mittels Spektralphotometrie zugnglich sind, werden in dieser Arbeit mittels
einer einheitlichen Methode spektralphotometrisch analysiert. Dabei werden Schichtparameter wie der Spektralverlauf von Brechzahl
und Absorptionskoeffizient, die Schichtdicke und ggf. weitere geometrische Schichtparameter wie der RMS-Wert der Oberflchenrauhigkeit
aus Messungen des gerichteten Transmissions- und Reflexionsvermgens der Schichtsysteme ber den zu untersuchenden
Wellenzahlbereich (NIR/VIS/UV) bestimmt. Zu den untersuchten Schichtsystemen gehren polykristalline Diamantschichten auf Silizium,
die starke Streuverluste an der rauhen Diamantoberflche aufweisen, sowie organische Mehrschichtsysteme auf Glsern, die durch hohe
Absorptionskoeffizienten sowie komplizierte Absorptionsverlufe gekennzeichnet sind. Als Hilfsmittel zur Bestimmung der Schichtparameter
werden neuartige Modelle fr die Wirkung von rauhen Oberflchen auf Dnnschichtspektren, weiterentwickelte Gradientenmethoden zur
spektralen Rckrechnung sowie vllig neuartige knstlich intelligente Systeme auf der Basis neuronaler Netze eingesetzt. Anhand unabhngiger
Messungen an den Schichtsystemen wie Massendichtemessungen, SEM- Profilometrie, Ramanspektroskopie knnen die gefundenen
Schichtparameter besttigt werden.

weitere Metadaten

Schlagwörter
dünne Schichten
Schlagwörter
Dünnschichtsysteme
Schlagwörter
Mehrschichtsysteme
Schlagwörter
optische Konstanten
Schlagwörter
Streuverluste
Schlagwörter
Diamantschichten
Schlagwörter
Oberflächenrauhigkeit
Schlagwörter
neuronale Netze
SWD SchlagworteSpektralphotometrie
SWD SchlagworteBrechzahl
SWD SchlagworteAbsorptionskoeffizient
SWD SchlagwortePhysik
DDC Klassifikation530
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Naturwissenschaften
BetreuerProf. Dr. Christian v. Borczyskowski
GutachterProf. Dr. Christian. v. Borczyskowski
Prof. Dr. Dietrich Zahn
Prof. Dr. N. G. Basov
DokumententypDissertation
SpracheEnglisch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)18.06.1998
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung03.07.1997
Veröffentlichungsdatum (online)18.06.1998
persistente URNurn:nbn:de:bsz:ch1-199800128

Hinweis zum Urheberrecht

Diese Website ist eine Installation von Qucosa - Quality Content of Saxony!
Sächsische Landesbibliothek Staats- und Universitätsbibliothek Dresden