Stéphane Collard

Röntgenstrukturuntersuchungen von Oxinitridschichten auf Chrom- und Zirkoniumbasis

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Kurzfassung in Deutsch

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Röntgenanalysen an dünnen Schichten,
die mittels reaktiver Magnetronzerstäubung hergestellt wurden, durchgeführt.
Zuerst werden die theoretischen Grundlagen der Röntgenanalyse und der Herstellungsmethode behandelt.
Es folgen Experimente an auf Chrom- und auf Zirkonium-basierenden Oxinitridschichten.
Die strukturelle Charakterisierung der Schichten mittels Röntgendiffraktometrie und -reflektometrie wird vorgestellt.
Die Messungen der Schichtstöchiometrie und Beschichtungsrate werden ebenfalss dargestellt.
Anschliessend kommt eine Diskussion.
Die Zusammenhänge zwischen den Herstellungsbedingungen und den beobachteten strukturen werden erläutert.
Ein Modell zur reaktiven magnetronzerstäubung wird für den Fall der Kontrolle mit Flüssen angewandt.

Kurzfassung in Englisch

This work deals with X-ray analysis of thin films,
The films were obtained with magnetron sputtering PVD method.
The theoretical basis of the X-ray analysis and of the deposition method are presented.
Experiments on chromiumoxinitride and zirconiumoxinitride are then presented.
X-ray analysis consists in diffratometrie and reflectometrie.
The composition of the coatings and the deposition rate are also presented.
The relation between the deposition parameters and the observed structures is then discussed.

weitere Metadaten

Schlagwörter
Oxinitrid
Schlagwörter
Vorzugsorientierung
SWD SchlagworteDünne Schicht
SWD SchlagworteRöntgenstrukturanalyse
SWD SchlagworteMagnetronsputtern
SWD SchlagworteHärte
SWD SchlagworteModellierung
SWD SchlagworteKorngröße
DDC Klassifikation600
DDC Klassifikation660
DDC Klassifikation530
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Naturwissenschaften
DokumententypDissertation
SpracheDeutsch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)16.04.1999
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung11.03.1999
Veröffentlichungsdatum (online)16.04.1999
persistente URNurn:nbn:de:bsz:ch1-199900141

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