Dipl.-Phys. Volker Linß

Herstellung und Charakterisierung von dünnen Schichten im ternären System B-C-N

Dokumente und Dateien

Hinweis

Bitte nutzen Sie beim Zitieren immer folgende Url:

http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:swb:ch1-200300286

Kurzfassung in Deutsch

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Herstellung und Charakterisierung von dünnen Schichten im ternären System B-C-N. In diesem System sind einerseits die härtesten heute bekannten Materialien (Diamant, c-BN) enthalten, aber andererseits auch Stoffe mit unterschiedlichsten elektrischen Eigenschaften (Graphit, h-BN). Es besteht daher das Bestreben, verschiedene bekannte Materialien zu kombinieren und so deren Eigenschaften in gewünschter Weise einzustellen. Allerdings wird sowohl experimentell als auch theoretisch des öfteren eine Separation in BN- und C/CNx-Phasen beobachtet. Im Rahmen dieser Arbeit wurden Schichten über einen weiten Stöchiometriebereich mittels reaktiver DC-Magnetronzerstäubung hergestellt und untersucht. Schwerpunkt wurde dabei auf die Analyse der Struktur und des Bindungszustandes sowie die mechanischen Eigenschaften Härte und Elastizitätsmodul gelegt. Es wird diskutiert, in welchen Elementezusammensetzungen wirkliche ternäre Verbindungen entstanden sind und ein Zusammenhang zwischen Struktur und mechanischen Eigenschaften in Form einer empirischen Formel abgeleitet.

weitere Metadaten

Schlagwörter
DC-Magnetronzerstäubung
Schlagwörter
FTIR
Schlagwörter
XPS
SWD SchlagworteAmorpher Zustand
SWD SchlagworteDünne Schicht
SWD SchlagworteMechanische Eigenschaft
SWD SchlagworteStruktur
SWD SchlagworteStöchiometrie
DDC Klassifikation530
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Naturwissenschaften
GutachterProf. Dr. Frank Richter
Prof. Dr. Günther Hecht
Prof. Dr. Wolfhard Möller
DokumententypDissertation
SpracheDeutsch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)12.11.2002
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung07.03.2003
Veröffentlichungsdatum (online)13.03.2003
persistente URNurn:nbn:de:swb:ch1-200300286

Hinweis zum Urheberrecht

Diese Website ist eine Installation von Qucosa - Quality Content of Saxony!
Sächsische Landesbibliothek Staats- und Universitätsbibliothek Dresden