Horst-G. Symanzik

Interface-Elektronik für mikromechanische Sensor- und Aktorarrays

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Kurzfassung in Englisch

The dissertation covers circuits in the field of micro-system electronics working as an interface between micro-electromechanical components and digital signal processing. The important problems of signal crosstalk and multiplication of complexity arising in conjunction with sensor- and actuator-arrays are considered.
As a foundation for design the modeling of DMOS-transistors and system aspects of sensor-signal-recovery are discussed. The design and implementation of a high-voltage driver-amplifier, a modulator for sensor-signal-recovery, a correlation IC to read out arrays and a micromechanical resonator with monolithically integrated read-out-amplifier is presented.

Kurzfassung in Deutsch

Die Dissertation behandelt Schaltungen der Mikrosystemelektronik in ihrer Funktion als Schnittstelle zwischen mikromechanischen Komponenten und signalverarbeitender Digitalelektronik. Hierbei werden die für Sensor- und Aktorarrays besonderen Probleme Signalübersprechen und Aufwandsvervielfachung berücksichtigt.
Als Entwurfsgrundlage werden die Modellierung von DMOS-Transistoren und Systemaspekte der Sensorsignalauswertung besprochen. Vorgestellt wird der Entwurf und die Realisierung eines Hochvolt-Ansteuerverstärkers, eines Modulators zur Sensorauswertung, eines Korrelator-ICs zur Arraysauswertung und eines mikromechanischen Resonators mit monolithisch integriertem Ausleseverstärker.

weitere Metadaten

DDC Klassifikation620
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
DokumententypDissertation
SpracheDeutsch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)29.07.2003
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung28.11.2003
Veröffentlichungsdatum (online)21.12.2003
persistente URNurn:nbn:de:swb:ch1-200301571

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