Dipl.Chem. Lutz Engisch

Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten

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Kurzfassung in Deutsch

Die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD) hat sich als eines der wichtigsten Dünnschichtverfahren etabliert. Für die Bearbeitung von Pulvern haben sich in der Technik Wirbelbettverfahren bewährt. Beide Verfahren sind an sich gut untersucht und verstanden. In der Arbeit wird ein Konzept zur Kombination dieser beiden Verfahren vorgestellt. Dabei zeigt sich, dass die einzelnen Modelle beider Verfahren durch experimentelle Untersuchungen ergänzt werden müssen, um das entsprechende Parameterfeld abzugrenzen. Durch die Untersuchung der Gasphase während der Abscheidung können Rückschlüsse auf die ablaufenden chemischen Reaktionen gezogen werden. Vergleichende ramanspektroskopische Untersuchungen, zwischen statischen Beschichtungen und Beschichtungen im Wirbelbett gestatteten es, den Einfluss der einzelnen Prozessparameter zu untersuchen.
Mikroglaskugeln mit einem Durchmesser von ca. 160µm werden mittels Toluen als Precursor in einem Argon-Wasserstoff-Plasma beschichtet. Dazu werden als Prozessparameter die Mikrowellenleistung, die Zusammensetzung der Gasphase und das Precursorangebot variiert. Die durch die Oberflächenmodifizierung erreichten Änderungen der Eigenschaften der pulverförmigen Substrate können durch Oberflächenspannungsmessungen gezeigt werden.
Es zeigt sich, dass vor allem die mechanische Beanspruchung im Wirbelbett und die Zusammensetzung der Reaktionsgasphase entscheidenden Einfluss auf die entstehende Schichtstruktur besitzen.

weitere Metadaten

Schlagwörter
Raman
Schlagwörter
Wirbelbett
SWD SchlagworteCVD-Verfahren
SWD SchlagworteGasphase
SWD SchlagworteMikrowellenplasma
SWD SchlagwortePulver
DDC Klassifikation620
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Naturwissenschaften
GutachterProf. Dr.rer.nat. Günter Marx
Prof. Dr.rer.nat. Eberhard Müller
Prof. Dr.-Ing.habil. K. Husemann
DokumententypDissertation
SpracheDeutsch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)28.06.2004
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung28.06.2004
Veröffentlichungsdatum (online)07.07.2004
persistente URNurn:nbn:de:swb:ch1-200400963

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