M. Eng Chenping Jia

Mikromechanische Ultraschallwandler aus Silizium

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Kurzfassung in Englisch

This paper discusses basic issues of micromachined ultrasonic transducers, including their design and fabrication. First, the acoustic fundamentals of ultrasonic transducers are introduced, and relevant simulation methods are illustrated. Following these topics, important aspects of silicon micromachining are presented. Based on this knowledge, two distinctive micromachining processes for transducer fabrication are proposed. One of them, the bulk process, has been proved to be successful, whereas for the second one, a surface process, some improvements are still needed. Besides these works, an innovative direct bonding technology is also developed. This technology constitutes the basis of the bulk process. Of course, it can also be used for the packaging of other MEMS devices.

weitere Metadaten

alternativer Titel
(Englisch)
Silicon Micromachined Ultrasonic Transducers
Schlagwörter
FEM analysis
Schlagwörter
Ultrasonic transducer
Schlagwörter
bonding
Schlagwörter
bulk micromachining
Schlagwörter
capacitive transducer
Schlagwörter
direct bonding
Schlagwörter
micromachining
Schlagwörter
surface micromachining
SWD SchlagworteBonden
SWD SchlagworteSimulation
SWD SchlagworteUltraschall
SWD SchlagworteWandler
DDC Klassifikation620
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Maschinenbau
BetreuerProf. Dr.-Ing Thomas Gessner
GutachterProf. Dr.-Ing. Arved Huebler
Prof. Dr.-Ing. Thomas Gessner
Prof. Dr.-Ing Bernd Michel
Prof. Dr.-Ing Hans Gatzen
DokumententypDissertation
SpracheEnglisch
Tag d. Einreichung (bei der Fakultät)14.01.2005
Tag d. Verteidigung / Kolloquiums / Prüfung12.12.2005
Veröffentlichungsdatum (online)13.12.2005
persistente URNurn:nbn:de:swb:ch1-200501754

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