Dr. rer. nat. habil. Norbert Schwarzer, Prof. Dr. Frank Richter

On the determination of film stress from substrate bending: STONEY´s formula and its limits

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Kurzfassung in Englisch

The paper examines the problem of film stress applying a correct three dimensional model. The results are compared with two different forms of Stoney´s equation existing in the Litera-ture and being widely used in the determination of stresses in thin films.
It is shown theoretically that only one of the forms is based on an adequate model and yields accurate results whereas the other causes errors of about 30-40 % for typical substrate materi-als. In addition limits for the applicability of the correct Stoney equation are given.

weitere Metadaten

Schlagwörter
Stoney
Schlagwörter
intrinsic stresses
SWD SchlagworteDünne Schicht
SWD SchlagworteTechnische Mechanik
SWD SchlagworteZweiachsige Spannung
DDC Klassifikation500
Institution(en) 
HochschuleTU Chemnitz
FakultätFakultät für Naturwissenschaften
DokumententypSonstige Veröffentlichung
SpracheEnglisch
Veröffentlichungsdatum (online)08.02.2006
persistente URNurn:nbn:de:swb:ch1-200600111

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